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              CF法蘭緊固安裝操作

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              CF法蘭是超高真空行業中比較常見的一類法蘭標準,經過多年的發展,雖然各個地區的命名方式不同(例如NWCF,ICF等等),但是在全世界已經形成了一個行業規范。他的優勢在于全金屬密封,可以耐高溫,耐腐蝕,在合適的操作情況下可以達到極高的真空度(10-12 mbar),但是缺點是相對ISO和KF標準安裝相對較復雜,如果安裝不到位會極大地影響真空度。在本期公眾號中,咱們就來介紹下CF法蘭緊固安裝操作步驟及注意事項。



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              CF法蘭


              CF法蘭的英文名是Conflat Flange。它是一種用于超高真空中的法蘭連接,是一種金屬靜密封,可以承受高溫烘烤。

              CF法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過螺栓和螺母固定,開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。

              常用規格類型:CF16, 35, 63, 100, 150, 200,250, 300, 350

              CF法蘭密封材料通常為無氧銅墊圈,根據不同的細分需求,無氧銅墊圈可以做加厚、鍍金、鍍銀、高溫退火等處理。

              CF法蘭材料通常為3系列不銹鋼(304~316LN)不銹鋼等,CF法蘭的常見形式具體見下圖所示:




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              CF法蘭安裝方式


              以CF35開通孔的法蘭緊固安裝操作為例,操作方式及步驟如下:



              第一步:準備以下材料以及工具:

              材料:

              CF35板狀螺帽,2個(無板狀螺帽的可用M6螺母替代)

              304不銹鋼內六角螺栓M6*35,6個(也可選擇外六角螺絲)

              ?6mm平墊,6個

              CF35銅墊圈,1個

              CF35盲板,1個

              工具:

              無塵手套

              酒精

              超凈布

              5mm內六角扳手(如選用外六角螺絲則需配置10號扳手)

              第二步:戴上無塵手套,使用超凈布蘸取酒精擦拭銅墊圈及CF35盲板,擦拭完畢后將銅墊圈小心放在盲板刀口上。



              第三步:使用超凈布蘸取酒精擦拭腔體法蘭刀口,將第二步中擦拭完畢的盲板(刀口帶有銅墊圈)蓋上腔體法蘭刀口,使上下法蘭檢漏口對齊。



              *在第二步和第三步中,必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無劃傷,如果有異常則必須停止安裝。銅墊圈或者法蘭的瑕疵不僅僅會造成真空不達標,甚至可能損壞與之配套的法蘭。

              第四步:將帶有墊片的304不銹鋼內六角螺栓M6*35插入通孔內,同時另外一側用板狀螺帽(或者M6螺母)固定,螺栓擰入板狀螺帽中(或者M6螺母),交叉擰緊螺栓;用合適的松緊程度將每個螺栓順時針每次擰1/4或者1/2圈。



              第五步:用5mm內六角扳手順時針均勻擰緊所有螺栓。



              如果有可能,我們非常建議采用力矩扳手來完成CF法蘭的安裝工作,根據一些廠商的建議,擰緊力矩可以參考如下 (www.lesker.com)


              法蘭外徑O.D.
              螺栓扭矩(ft-lbs.)
              inch mm
              1-1/3 34 7
              2-3/4 70 12
              4-1/2 114 15
              6 152 15
              8 203 15
              10 254 15



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              安裝時注意事項



              1. 真空系統搭建時必須穿潔凈服,戴潔凈帽、戴手套,因為輕微的指紋或者其他污漬都可以極大地影響真空度;

              2. 安裝前仔細檢查盲板、法蘭刀口和銅墊圈表面的光潔度或粗糙度,不允許有碰傷、劃傷、斑痕及其他影響真空密封性能的缺陷,確保刀口和銅墊圈沒有瑕疵后再進行安裝;

              3.  根據不同法蘭尺寸選用不同的螺絲類型,選用的螺絲長度應露出螺母1~2mm為宜;

              4.  螺栓、螺母及墊圈與法蘭裝配時一般應在螺栓、螺母之間加二硫化鉬潤滑劑;

              5.  擰緊法蘭螺絲時必須用力均勻。對于小法蘭,例如CF16-63大小的法蘭,可以按照順序逐步擰緊螺絲。但是對于較大的法蘭,例如CF150及以上的法蘭,則需采取對角花式擰緊的方式,避免單側受力不均勻,影響密封效果;

              6. 對于有陶瓷或者玻璃密封的部件,例如Feedthrough或者視窗,建議采用退火銅墊圈,可以減少密封件內部的壓應力,降低損壞幾率;

              如果您有購買銅墊圈和板狀螺帽的需求,請發送郵件至info@fermi.com咨詢。

              以下是費勉儀器通用的CF法蘭尺寸對應的配套螺栓/螺桿長度表(僅供參考)



              標簽: 法蘭
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