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              標準蒸發源坩堝裝料操作

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              在MBE系統中蒸發源是一個關鍵部件,在薄膜制備過程中經常涉及到蒸發源的坩堝裝料操作。在本期公眾號中,咱們就來介紹下標準蒸發源坩堝裝料操作步驟。


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              蒸發源坩堝裝料操作

              第一步:準備以下材料以及工具;



              材料:

              ①蒸發材料   ②標準蒸發源

              工具:

              ①鑷子(潔凈)  ②無塵服   ③無塵手套   ④口罩  ⑤真空用鋁箔

              ⑥無水酒精   ⑦超凈布   ⑧蒸發源支撐架

              第二步:安全檢查,在操作蒸發源之前一定要確認之前的蒸發源生長過何種材料。有一部分材料屬于有毒性的例如Te,或者屬于易燃易爆物品的例如堿金屬,一定要按照MSDS的規范操作采用特殊工藝,以下僅針對無毒無害材料的裝料做說明。

              第三步:確認安全后,穿戴無塵服、無塵手套及口罩,先把磁耦合旋轉驅動上的鎖緊螺絲擰松,再將磁耦合旋轉驅動旋轉至90度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于打開位置)。




              第四步:對于使用過的蒸發源,在擋板或者坩堝口的位置會有材料的殘留,在拆解前一定要注意清潔這些殘留的材料,避免掉入坩堝或者加熱區域引起二次污染。




              第五步:使用超凈布蘸取無水酒精擦拭鑷子,在橫放的情況下使用鑷子緩慢取出坩堝頂部的坩堝壓片(避免殘留材料跌落),將坩堝壓片暫放在潔凈的鋁箔紙上。



              第六步:小心取出坩堝,請注意某些陶瓷坩堝例如PBN由于壁厚和材質的原因非常脆弱,務必輕拿輕放。



              第七步:目視檢查坩堝,確認坩堝沒有異常,檢查坩堝內容物,一般不建議新舊材料混用,以及不同種材料混用。如有必要需要清空坩堝并使用超聲波清洗或者更換新的坩堝。

              第八步: 握住坩堝傾斜30-45度,使用潔凈的鑷子將材料沿坩堝壁緩慢滑入,過程中需要避免大顆粒材料猛烈撞擊坩堝底部造成坩堝損壞。建議裝料量最大不超過坩堝容積的三分之一。需要蒸發其他材料時需更換新坩堝以及坩堝壓片避免交叉污染。




              第九步:將坩堝緩慢放入蒸發源,并用坩堝壓片壓住。坩堝壓片隨著多次使用(高低溫循環),會發生彈性減弱的情況,所以如果發現固定效果變差,請及時更換。坩堝壓片能保持坩堝和加熱區域的相對位置不變(特別是斜向安裝),對保持束流的穩定和可重復性有很大作用。




              第十步:確保坩堝安裝就位穩定后,先把磁耦合旋轉驅動上的鎖緊螺絲擰松,再將磁耦合旋轉驅動旋轉至0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關閉位置)。



              第十一步:將蒸發源豎直放置于專用支撐架上(待裝入腔體),避免坩堝材料滑出。對于活潑敏感材料,建議盡早進入真空環境,以免材料發生氧化或吸水變性。安裝前檢查蒸發源電極間的電阻以及接地電阻,對比出廠數據,確保各項參數正常。



              第十二步:接觸材料的坩堝,鋁箔,或者工具等,都需要及時收納更換/清洗,分類擺放,避免交叉污染。

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              安裝時注意事項


              1.裝料前請確認材料和蒸發源的種類相匹配,例如溫區,Cold/Hot Lip,不合適的匹配將會影響生長過程甚至可能造成設備損壞;

              2.裝料前請確認材料和坩堝的種類相匹配,部分材料會和特定坩堝發生反應或者共融,不合理的匹配將會影響生長甚至造成設備損壞;

              3.有任何疑問請咨詢我司技術部門,郵箱:surface-science@fermi.com




              標簽: 法蘭
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