電子束蒸發源 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 部件產品 > 蒸發源 > 電子束蒸發源

              產品概述 Product Overview

              不同配置的蒸發源已經證明了其具有通過可控和穩定的方式蒸發大多數元素的能力。然而這些帶有燈絲結構設計的蒸發源仍有局限性,即使是鎢絲制作的加熱絲,最高溫度也只能達到2000℃的極限。這個溫度仍然低于諸如Ta, Mo等難熔金屬的熔點。
              電子束蒸發源,通過加熱絲發出的電子,轟擊棒材或坩堝,可以使工作溫度高達3000℃。
              加熱區域被水冷銅塊環繞,可以保持較低放氣水平。通過調節功率0至300W,可調節束流從小于0.1 ?/min至超過50?/min,可以滿足多種材料。蒸發源上安裝50mm行程的線性驅動用來移動棒材,確保棒材位置可調。


              規格說明 Specification


              ● 型號:E38EB

              ● 加熱絲燈絲電流: 4.5 A (Max. 5 A)

              ● 高壓(最大): 2 KV
              ● 高壓發射電流: 200 mA (Max. 300 mA)
              ● 帶束流反饋及PID控制
              ● 靶材(選件): 棒材(直徑: 2.5 mm ~ 6 mm;送料長度:50mm)/坩堝(0.25 cc)
              ● 法蘭尺寸: NW38CF(O.D. 2.75”)
              ● 烘烤溫度: 150 ℃ 
              ● 內置水冷模塊
              ● 擋板:可選Ta擋片(手動/氣動)



              測試曲線圖 Test Curve

              ——————   鐵束流功率曲線    —————— ——————    鐵束流穩定性測試    ——————




              ——————    鐵薄膜沉積曲線    —————— ——————    電子束流曲線    ——————




              ——————    鈮束流功率曲線    —————— ——————    鈮束流穩定性測試    ——————



              產品尺寸 Dimension Drawing




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