磷原子裂解源 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 部件產品 > 蒸發源 > 磷原子裂解源

              產品概述 Product Overview

              磷原子裂解源是一種基于固體磷前驅體制備磷單原子的裂解蒸發源,該源采用雙溫區結構,即蒸發區和裂解區。并且采用特殊的隔熱設計,最大限度的降低了兩個溫區間的熱量干涉。此外,兩個溫區間采用石墨密封,能夠有效降低蒸發區的原料蒸氣泄露。同時,蒸發區和裂解區的專屬水冷保證了材料生長過程中的背景壓力始終在允許范圍內。置于蒸發區的磷前驅體吸收加熱絲熱輻射散發的熱量而實現蒸發。裂解區利用具有催化磷分子裂解功能的鉭管作為加熱管,并配備耐高溫金屬制備的多層隔熱層以屏蔽熱輻射損失的熱量,最高可達2000℃。因此,蒸發區蒸出的磷分子蒸氣進入裂解區后,會在在高溫下快速的發生催化裂解反應,實現了單原子磷蒸氣的高效獲取。


              規格說明 Specification

              ● 型號:E63PC

              ● 裂解區和蒸發區獨立加熱

              ● 蒸發區溫度穩定性 ≤0.1℃ (取決于PID控制器)
              ● 裂解區最大允許電流:35 A(阻值~0.5 Ω)
              ● 裂解區最大溫度:2000 ℃
              ● 裂解區在最高溫度時,蒸發區溫度不超過:300 ℃

              ● 漏率好于5x10-10Pa·m3/s

              ● 擋板:可選Ta擋片(手動/氣動)

              ● 內置水冷模塊


              法蘭尺寸 坩堝尺寸 分區 工作溫度 最大除氣溫度 熱電偶 溫度穩定性
              NW63CF(O.D. 4.50”)
              10 cc
              頂部裂解區 ≤2000℃ 2000℃ - ±0.1℃
              底部蒸發區 100~1000℃ 1100℃ K










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