標準蒸發源 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 薄膜制備 > 部件產品 > 蒸發源 > 標準蒸發源

              產品概述 Product Overview

              標準低溫(LT)和中溫(MT)蒸發源的最大工作溫可達1100℃ 和1500℃。蒸發源內部采用獨特的加熱絲設計,可確保坩堝受熱均勻,同時有更好的使用穩定性,和更長的使用壽命。中間采用多層線接觸式鉭筒隔熱,大大降低了熱輻射損失,提高了熱量利用率,使其在較低的功率下即可達到較高的工作溫度。蒸發源水冷系統采用內置水冷套設計,屏蔽了高溫加熱區域對腔體內壁的輻射,可有效減少腔壁放氣,為樣品生長提供了更好的真空條件,同時提高了溫度測量精度。
              除了標準加熱絲外,熱口和冷口型的加熱絲設計可以滿足特殊要求的蒸發材料。


              規格說明 Specification

              ● 加熱系統: 輻射加熱,帶有PBN支撐片的Ta加熱絲
              ● 兼容Oxide MBE
              ● 溫度穩定性:≤0.1℃,取決于PID溫控器
              ● 超高真空兼容,極限真空10-11mbar
              ● 內置水冷模塊
              ● 擋板:可選Ta擋片(手動/氣動)

              法蘭尺寸 坩堝尺寸 工作溫度 最高除氣溫度 熱偶類型 溫度穩定性 型號
              NW38CF(O.D. 2.75”)
              10 cc
              100~1100℃ 1200℃ K ±0.1℃
              E38LT
              300~1500℃ 1600℃ C E38MT
              NW63CF(O.D. 4.50”)
              25/50 cc
              300~1100℃
              1200℃
              K ±0.1℃
              E63LT
              300~1500℃
              1600℃
              C E63MT


              測試曲線圖 Test Curve

              ——————    功率測試    —————— ——————     銅束流溫度曲線    ——————


              ——————     銅薄膜沉積曲線    ——————— ——————     溫度穩定性測試    ——————



              產品尺寸 Dimension Drawing


              NW38CF NW63CF






              視頻 Video


              相關下載 Related Downloads

                暫無下載內容
              標簽: evaporators
              亚洲专区中文字幕视频专区