高亮度單色聚焦真空紫外光源(BL1100S) 您當前的位置: 首頁 > 產品中心 > 等離子技術 > 紫外光源 > 高亮度單色聚焦真空紫外光源(BL1100S)

              產品概述 Product Overview

              費勉BL1100s是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源,包含差分腔體,一個單色腔體,一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥,能夠使用多種工作氣體(He, Xe),滿足小光斑,氣壓增量小的要求。


              規格說明 Specification

              ● 可伸縮調節機制
              ● 75mm行程線性驅動
              ● 角度調節機制:傾角范圍:±3°
              ● 固態射頻電源,射頻線纜
              ● 強制風冷和水冷
              ● 兼容超高真空,全金屬密封


              測試報告 Test Report


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              標簽: 紫外光源
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